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    石英材料:0716-8304668/0716-8333088

    石英纖維 銷售電話 : 18071880998

    石英晶圓

    材料簡介

    Introduction

    使用高品質原材料生產的高精度、大尺寸、厚度為0.5mm的石英玻璃晶圓片,可根據客戶要求定制。 

    使用高品質的合成石英玻璃,最大尺寸可達φ300mm,最薄為0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。

    主要用途

    Main Application

    半導體制成、生物技術、MEMS(微電子機械系統)、HTPS(高溫多晶硅TFT液晶)。

    規格參數

    Corresponding Specifications

    厚度

    尺寸公差
    ( mm )

    平面度(PV)(通光面)

    TTV

    表面粗糙度(Ra)

    劃痕

    凹坑

    崩邊
    ( μ m )

    ≥0.5 mm

    直徑 ± 0.1 
    厚度 ± 0.02 mm

    ≤ λ ( λ = 632.8mm )

    ≤ 1 μm ( φ 200 mm )

    ≤ 0.01 μm

    寬度 ≤ 10 μm

    直徑 ≤ 25 μm

    ≤ 300 μm (楞邊)
    ≤ 200 μm (表面)

    詳細規格請致電詳談(尺寸φ300mm以內)


    TTV(3D圖)

    TTV

    晶圓TTV 3D圖.jpg

    TTV(曲線圖)

    TTV Curve

    晶圓TTV 曲線圖 拷貝.jpg

    樣品測量值

    Sample Measurement

    φ300 mm

    平面度(PV)(通光面)
    ≤ λ ( λ = 632.8mm )

    表面粗糙度(Ra)≤ 0.01 μm

    產品詳情咨詢:18272229653

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